Bibliografia Dorobku Piśmienniczego Pracowników Politechniki Łódzkiej od 2004

1/4
Nr opisu: 0000010102
Autorzy: Łukasz Ruta, Małgorzata Langer, Artur Turała.
Tytuł: Dry etching of indium phosphide in Cl₂-based plasma by ICP.
Cytata wydawnicza: Vacuum and Plasma Surface Engineering. International Conference. Book of Abstracts.
Adres wydawniczy: Liberec, 2006
Szczegóły: s.76-77
Lokalizacja dokumentu: Wł. Inst. Elektron.
Uwagi wewnętrzne: DIG_010102
Półrocze: 2
Kraj: CZE
Język: eng
2/4
Nr opisu: 0000002779
Autorzy: Łukasz Ruta, Artur Turała, Artur Kalinowski, Grzegorz Fałkowski, Marie-Paul Besland.
Tytuł: Trawienie fosforku indu w plaźmie chlorowej metodą ICP.
Tytuł równoległy: Etching of indium phosphide by ICP in Cl₂ - based plasma.
Czasopismo: Elektronika 2005 R.46 nr 2-3 s.42-43, sum.
Uwagi:ELTE 2004. VIII Konferencja Naukowa "Technologia Elektronowa".
Lokalizacja dokumentu: P-1719
p-ISSN: 0033-2089
Zasięg czasopisma: K
Półrocze: 1
Kraj: POL
Język: pol
3/4
Nr opisu: 0000006076
Autorzy: Łukasz Ruta, Marie-Paul Besland, Artur Turała, Artur Kalinowski, Grzegorz Fałkowski.
Tytuł: Trawienie fosforku indu w plaźmie chlorowej metodą indukcyjnie sprzężonej plazmy.
Cytata wydawnicza: ELTE 2004. VIII Konferencja Naukowa "Technologia Elektronowa". Materiały konferencyjne [Dokument elektroniczny].
Adres wydawniczy: Aleksandrów Łódz., 2005
Szczegóły: 1 dysk optyczny (CD-ROM) E:/2004 Referaty CD.pdf s.197-200
Lokalizacja dokumentu: Wł. Inst. Elektron.
Uwagi wewnętrzne: DIG_006076
Półrocze: 1
Kraj: POL
Kod współpracy międzynarodowej: FRA
Język: eng
4/4
Nr opisu: 0000001540
Autorzy: Łukasz Ruta, Artur Turała, Marie-Paul Besland, Artur Kalinowski, Grzegorz Fałkowski.
Tytuł: Cl₂ - based ICP etching of InP.
Cytata wydawnicza: ELTE 2004. VIII Electron Technology Conference. Book of extended abstracts.
Adres wydawniczy: Łódź, 2004
Szczegóły: s.134-135
Lokalizacja dokumentu: Wł. Inst. Elektron.
Uwagi wewnętrzne: DIG_001540
Półrocze: 1
Kraj: POL
Kod współpracy międzynarodowej: FRA
Język: eng
Wyświetl ponownie stosując format:

Wyświetl/ukryj etykiety | Wyświetlenie wyników w wersji do druku | Pobranie pliku do edytora | Nowe wyszukiwanie | Biblioteka PŁ